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一种物体表面三维形貌的测量方法

发布时间:2021-01-16 16:39 作者:亚博网页版

  一种物体表面三维形貌的测量方法_数学_自然科学_专业资料。(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN103424085A (43)申请公布日 2013.12.04 (21)申请号 CN0.6

  (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN103424085A (43)申请公布日 2013.12.04 (21)申请号 CN0.6 (22)申请日 2013.06.13 (71)申请人 清华大学 地址 100084 北京市海淀区清华园 1 号 (72)发明人 谢惠民;刘战伟;李传崴 (74)专利代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 罗文群 (51)Int.CI 权利要求说明书 说明书 幅图 (54)发明名称 一种物体表面三维形貌的测量方法 (57)摘要 本发明涉及一种物体表面三维形貌的测量 方法,属于光测力学技术领域。本发明通过倾斜 扫描电镜试样台的角度,获取被测试样在不同角 度下的扫描云纹图像,对不同倾斜角度的两幅图 像分别进行云纹条纹处理,分别得到两个角度下 的位移场,利用扫描电镜中的立体分析模型公 式,根据位移场确定被测试样的三维形貌图。本 发明方法集成了扫描云纹技术测量灵敏度高、视 场大的优点,实现了对微纳米尺度物体三维形貌 的测量。本发明弥补了传统扫描电镜法只能测量 面内信息的不足,拓展了扫描云纹法的应用范 围,且对微纳米尺度物体三维形貌测量具有很好 的效果。 法律状态 法律状态公告日 2013-12-04 2013-12-25 2017-06-06 法律状态信息 公开 实质审查的生效 发明专利申请公布后的驳回 法律状态 公开 实质审查的生效 发明专利申请公布后的驳回 权利要求说明书 一种物体表面三维形貌的测量方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看 说明书 一种物体表面三维形貌的测量方法的说明书内容是....请下载后查看


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